作者单位
摘要
1 Institute of Optics and Electronics, Chinese Academy of Sciences, Chengdu 610209, China
2 School of Optoelectronic Information, University of Electronic and Science and Technology of China, Chengdu 610054, China
Fourier transform infrared (FTIR) spectroscopy fused silica Si―OH measurement dynamic range 
光电工程
2017, 44(10): 1027
周江宁 1,2李斌成 1,3,*
作者单位
摘要
1 中国科学院光电技术研究所,成都 610209
2 中国科学院大学,北京 100049
3 电子科技大学光电信息学院,成都 610054
傅里叶变换红外光谱法被广泛应用于融石英Si―OH含量测量中。然而,低Si―OH含量下水吸收峰的干扰和高Si―OH含量下吸收峰饱和限制了测量范围。使用傅里叶变换红外光谱法测量不同Si―OH含量和厚度的熔石英样品在2500 cm-1~5000 cm-1波段的透过率,消除水分子吸收带对3673 cm-1波数Si―OH吸收峰的干扰;分别使用3673 cm-1和4522 cm-1峰对不同样品的Si―OH含量、均方根误差,以及3673 cm-1和4522 cm-1峰的检测限进行计算。结合实验结果和比尔定律,建立Si―OH浓度、样品厚度、测量透过率误差与测量浓度误差之间的关联模型。根据模型,在2 mm厚度时使用3673 cm-1吸收峰测量Si―OH含量小于8.17×10-4的样品,使用4522 cm-1弱吸收峰测量Si―OH含量大于8.17×10-4的样品,可优化测量精度和扩大测量动态范围,实现2 mm厚度时熔石英(0.4~10000)×10-6大范围Si―OH含量测量。
傅里叶变换红外光谱 熔石英 测量动态范围 Fourier transform infrared (FTIR) spectroscopy fused silica Si―OH Si―OH measurement dynamic range 
光电工程
2017, 44(10): 997

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